掃描電子顯微鏡+X射線能譜儀(SEM+EDS)測試原理
發布時間：
2023-04-12 19:13
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掃描電子顯微鏡+X射線能譜儀(SEM+EDS)測試原理:
掃描電子顯微鏡利用二次電子或背散射電子成像，對樣品表面放大一定的倍數進行形貌觀察，大放大倍數可達30萬倍，同時利用電子激發出樣品表面的特征X射
線來對微區的成分進行定性定量分析。
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